技術特（tè）點：● 自動運行，幹進幹出 ● 設備占地麵積小 ● 去離子（zǐ）水減少高（gāo）達80% ● 工藝介質減少高達80% ● 封閉式係統 ● 可柔性多腔室組合 | 設備用途：● 顯像工藝 ● 刻蝕工藝 ● 清洗工藝 ● 剝離工藝 ● 可選配O3清洗 |
Vortex 批次式（shì）濕法（fǎ）設備
技術特點：● 自動運行，幹進幹出 ● 設備占地麵積小 ● 去離子水減少高達80% ● 工藝介質減少高達80% ● 封閉式係統 ● 可柔性（xìng）多腔室組合 | 設備（bèi）用途：● 顯像工藝 ● 刻蝕（shí）工藝 ● 清洗（xǐ）工藝 ● 剝離工藝 ● 可選配O3清洗 |
