技術特點：● 亞微米線寬工藝 ● 高均勻性和一（yī）致性（xìng） ● 去（qù）離子水減少高達80% ● 工藝介質減少（shǎo）高達80% ● 封（fēng）閉式係統 ● 可柔性多腔室組合（hé） | 設備用途：● 閃蝕工藝 ● 清洗工藝 ● 剝膜工藝 ● 顯像工藝 |
板級（jí）旋風DES
技術特點：● 亞微米線寬工藝 ● 高均勻性和一致性 ● 去（qù）離子水減少高達80% ● 工藝（yì）介質減少高達80% ● 封閉式係統 ● 可柔性多腔室組合 | 設備用（yòng）途：● 閃蝕工藝 ● 清（qīng）洗工藝 ● 剝膜（mó）工藝 ● 顯像工藝 |
